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CIF中試生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)CPC15/35/80/120/150

    CIF 推出的中試生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級(jí)客 戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備。配置豐富, 且真空腔體里可分層, 適合大多數(shù)生產(chǎn)場(chǎng)景清洗,活化、刻蝕等應(yīng)用。設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下 穩(wěn)定運(yùn)行,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,樣品處理重復(fù)性、一致性好。

    更新時(shí)間:2024-03-18 14:30:26
  1. 詳細(xì)信息

產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)。

◆  PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

  采用質(zhì)量流量計(jì),  氣體流量控制更準(zhǔn)確。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng),   可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)??奢斎胙鯕?、氬氣、氮?dú)狻?/font> 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

◆  采用多孔道進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。

◆  HEPA 高效過(guò)濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆  316 不銹鋼真空艙,潔凈無(wú)污染。

◆  全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)。

◆  處理高效均勻,效率高,工藝重復(fù)性好。

◆  合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),設(shè)備占用空間小。

◆  可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。

◆  樣品處理溫度低,無(wú)熱損傷和熱氧化。

◆  使用成本低、耗損小。

◆  產(chǎn)品性能穩(wěn)定,安裝維護(hù),簡(jiǎn)單方便。

◆  安全保護(hù),艙門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。

◆  機(jī)器運(yùn)行、停止提示。


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 技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

CPC15

CPC35

CPC80

CPC120

CPC150

艙體尺寸

W240xH240

xD260mm

W320xH320

xD350mm

W420xH400

xD500mm

W500xH500

xD450mm

W500xH500

xD600mm

艙體容積

15L

35L

80L

120L

150L

艙體材質(zhì)

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

不銹鋼

有效尺寸

W240xD230mm

W320xD323mm

W420xD468mm

W500xxD420mm

W500xxD565mm

電極分布

2 層

3-4 層

6 層

8-10 層

10-15 層

射頻電源

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

射頻功率

0-300W

0-300W

0-600W

0-1000W

0-1000W

匹配器

自動(dòng)匹配器

激發(fā)方式

電容式

電流

1.2A

時(shí)間設(shè)定

9999 秒

氣體穩(wěn)定 時(shí)間

1 分鐘

真空度

100pa 以內(nèi)

控制系統(tǒng)

7 寸 PLC 觸摸屏控制

工藝氣體

2 氣路 MFC  (可選裝 3 路)

產(chǎn)品尺寸

L625xW600

xH760mm

L625xW600

xH805mm

L905xW845

xH1940mm

L625xW600

xH760mm

L905xW845

xH2010mm

包裝尺寸

L740xW775

xH1000mm

L740xW775

xH1045mm

L1015xW1065 xH2050mm

L1015xW1065 xH2120mm

L1015xW1065 xH2120mm

真空泵

抽速約 8m3/h

抽速 16m3/h

抽速 40m3/h

抽速 60m3/h

抽速約 60m3/h

電源

AC220V

50/60Hz 552W

AC220V

50/60Hz 552W

AC380V

50/60Hz 902W

AC380V

50/60Hz 1302W

AC380V

50/60Hz 1302W

整機(jī)重量

108kg

135kg

465kg

485kg

575kg


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