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CIF中試型等離子清洗機CPC-10系列

    CIF推出全新一代 CPC-10系列實驗室型等離子體清洗設備, 顛覆傳統(tǒng)等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學, 科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。

    更新時間:2024-03-26 16:17:31
  1. 詳細信息

產(chǎn)品特點:

◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆ ?PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆ ?石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

◆ ?采用質量流量計,實現(xiàn)對氣體輸入精準控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆ ?60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

◆ ?頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。

◆ ?采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

◆ ?有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆ ?安全保護,艙門打開,自動關閉電源。


技術參數(shù):

?

型號

CPC-10

CPC-10plus

CPC-10M

CPC-10Mplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-300W

0-600W

0-300W

匹配器

自動匹配

自動匹配

激發(fā)方式

電容式

電容式

氣體控制

雙浮子流量計

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

L300xΦ215mm

L300xΦ215mm

艙體容積

10.8L

10.8L

艙體材質

不銹鋼

不銹鋼

有效處理尺寸

L300xW215mm

L300xW215mm

時間設定

9999 秒

9999 秒

真空泵

抽速 8m3/h

抽速 8m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1 分鐘

1 分鐘

真空度

100pa?以內

100pa?以內

???

AC220V 50/60Hz ?766/466W

AC220V 50/60Hz ?752/452W

產(chǎn)品尺寸

L645xW550xH495mm

L645xW550xH495mm

包裝尺寸

L750xW700xH720mm

L750xW700xH720mm

整機重量

55kg

55kg

?
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