勻膠機

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具體應(yīng)用領(lǐng)域：

產(chǎn)品特點

◆ 采用閉環(huán)控制伺服電機，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠均勻。

◆ 7 寸全彩中英文互動操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配 10 個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設(shè)置），可選配 20 個可編程程序，每個程序下可設(shè)置 10 個勻膠梯度階段，最多 100 個階段。

◆ 內(nèi)置水平校準裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

◆ 多重安全保護電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋子彈開傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實驗人員安全。

◆ 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風(fēng)險。

◆ 一機兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

◆ 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計，取放樣品更方便。

◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

◆ 上下雙腔體設(shè)計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

◆ 可選氮氣吹掃、氮氣保護，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

◆ 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

技術(shù)參數(shù)

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