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CIF透射電鏡樣品桿清洗機(jī)

    CIF 透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程離子清洗源 設(shè)計(jì),清洗快速高效, 低轟擊損傷, 同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。 主要用于 TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。

    更新時(shí)間:2024-03-18 15:39:14
  1. 詳細(xì)信息

產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  遠(yuǎn)程離子清洗源

一機(jī)多用

清洗快速高效,低轟擊損傷

技術(shù)參數(shù)

 

產(chǎn)品型號(hào)

CIF-TEM

等離子電源

13.56MHz 等離子射頻電源,射頻功率 5-150W 可調(diào)

遠(yuǎn)程等離子源,自動(dòng)匹配器

清洗室

清洗室尺寸 ?180xH100mm

清洗數(shù)量

可同時(shí)清洗 3 支 TEM 樣品桿

適配品牌

美國(guó) THERMO FISHER(FEI)、日本日立(HITACHI)、日本電子(JEOL)

氣體控制

標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)可選雙路。0-500sccm/ 分,自動(dòng)控制氣體流量,不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇

真空控制

皮拉尼真空計(jì),測(cè)量范圍 1.0E-5Pa~1E+5Pa

真空保證

真空計(jì)和電磁閥安全互鎖

操控方式

7 寸全彩觸摸屏控制,中英文互動(dòng)操作界面

 

 

 

真空泵

前級(jí)泵

抽氣速率 2.5 m3/h

分子泵

極限真空:LF<8*10-6Pa,CF<8*10-7Pa

分子泵抽速 85L/s(N2

入口法蘭:DN63 ISO-K(LF)/ CF

質(zhì)量保證

二年質(zhì)保,終身維護(hù)

    

AC220V、50/60Hz300W

產(chǎn)品尺寸

L565xW505xH560mm

包裝尺寸

L715xW655xH820mm

整機(jī)重量

68kg

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